Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件

用于特性分析的靈活編程方式

ACS的特點(diǎn)是腳本編輯器，這是一個(gè)獨(dú)立的工具，帶有圖形用戶界面，用于開發(fā)Python代碼和TSP®腳本，進(jìn)行儀表控制、數(shù)據(jù)分析和系統(tǒng)自動(dòng)化操作。其提供創(chuàng)建和開發(fā) GUI 設(shè)計(jì)以及管理用戶庫(kù)和模塊的直觀方法。

Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件自動(dòng)化數(shù)據(jù)收集過程

ACS的晶圓探針自動(dòng)化選項(xiàng)使您能夠輕松將各種常用的半自動(dòng)或全自動(dòng)晶片探針臺(tái)連接到測(cè)試設(shè)置中，從而可以快速捕獲大量數(shù)據(jù)。此選項(xiàng)包括晶片描述實(shí)用程序、具有晶片評(píng)等功能的實(shí)時(shí)晶片圖、暗盒樣品計(jì)劃實(shí)用程序以及測(cè)試后暗盒和晶片查看實(shí)用程序。ACS 內(nèi)置的許多工具和功能都可以增強(qiáng)設(shè)備的自動(dòng)檢定能力

Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件

分享測(cè)試項(xiàng)目和結(jié)果

ACS提供了一組通用的關(guān)鍵元素，可以跨多種硬件配置工作，從而減少了時(shí)間并提高了生產(chǎn)率。系統(tǒng)從一個(gè)硬件到另一個(gè)硬件實(shí)現(xiàn)的執(zhí)行是一致的，因此，例如，很容易將用于單設(shè)備組件表征的基礎(chǔ)ACS系統(tǒng)的你的測(cè)試結(jié)果轉(zhuǎn)移到另一個(gè)設(shè)計(jì)用于晶圓級(jí)測(cè)試的系統(tǒng)。

Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件*大限度地提高 Keithley 硬件的生產(chǎn)率

ACS中的工具簡(jiǎn)化了測(cè)試開發(fā)流程，*大限度地提高了與系統(tǒng)相連的每個(gè)Keithley儀器的速度。ACS 和 Keithley 基礎(chǔ)TSP的硬件一起提供了超高的吞吐量，從而降低了測(cè)試成本，不需要您在獲得實(shí)現(xiàn)目標(biāo)所需的數(shù)據(jù)之前花時(shí)間學(xué)習(xí)新的編程概念或語言。

Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件支持的儀器

注：

1. ITM 支持 24xx TTI 儀器、26xx 儀器和混合用例。
2. 用戶可以通過 STM 腳本控制任何 TSP 儀器?，F(xiàn)有 ACS STM 庫(kù)支持每個(gè)庫(kù)定義的特定儀器。
3. 用戶可以通過 PTM 腳本控制任何儀器?，F(xiàn)有的 ACS PTM 庫(kù)支持每個(gè)庫(kù)定義的特定儀器。

從實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠的應(yīng)用

ACS基礎(chǔ)版集成測(cè)試系統(tǒng)是參數(shù)化揀選、高功率半導(dǎo)體器件檢定和晶片級(jí)可靠性測(cè)試等應(yīng)用的完整解決方案。當(dāng)配合適合的半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)，它們的硬件配置和測(cè)試項(xiàng)目開發(fā)可以很容易地針對(duì)特定的任務(wù)進(jìn)行優(yōu)化。

使用 Keithley 高功率系統(tǒng) SMU 儀器和 ACS 基礎(chǔ)版軟件測(cè)試功率半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用指南

ACS 多站點(diǎn)并行測(cè)試集成測(cè)試系統(tǒng)應(yīng)用指南

提高可靠性吞吐量

可靠性測(cè)試可提高質(zhì)量、降低故障率、確保高產(chǎn)量并增加信心。ACS 軟件支持用于高容量可靠性測(cè)試的 Shared Stress 方法，加快了測(cè)試時(shí)間。 

使用 ACS 進(jìn)行 Shared Stress 可靠性測(cè)試應(yīng)用指南

使用增量模式進(jìn)行超低電阻測(cè)量

2182A/622X 組合非常適合許多納米技術(shù)應(yīng)用，因?yàn)樗鼫y(cè)量電阻時(shí)可以不消耗被測(cè)器件 (DUT) 的太多功率，否則可能會(huì)導(dǎo)致結(jié)果無效，甚至損壞 DUT。使用 ACS 軟件執(zhí)行增量模式測(cè)試，將這些敏感的測(cè)量結(jié)果整合到測(cè)試系統(tǒng)中。

Keithley 6200/2182A 系列超低電阻配置

Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件

用于GaN HEMT I-V 特性分析的電源時(shí)序

由于GaN HEMT的“常開”特性，在進(jìn)行I-V特性分析時(shí)需要一個(gè)特定的電源時(shí)序。ACS軟件支持在不破壞器件本身的I-V特性的情況下，對(duì)器件的GaN HEMT特性進(jìn)行電源時(shí)序測(cè)試。

GaN HEMT 檢定的電源時(shí)序應(yīng)用指南

Keithley 自動(dòng)化檢定ACS軟件半導(dǎo)體工作流程解決方案

服務(wù)于半導(dǎo)體工作流程中的應(yīng)用

ACS Basic Edition 和 ACS Standard Edition 軟件在整個(gè)半導(dǎo)體工作流程中均用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行廣泛的測(cè)試，以獲得詳細(xì)的檢定。整合 ACS Basic 和 ACS Standard 的測(cè)試系統(tǒng)可提供：

• 在設(shè)備、晶圓和暗盒級(jí)進(jìn)行測(cè)試
• 靈活的配置、軟件和應(yīng)用程序定制
• 交互式和自動(dòng)化系統(tǒng)操作
• GUI 和腳本工具的強(qiáng)大組合，用于測(cè)試模塊開發(fā)
• 
  

開發(fā)階段

ACS Basic Edition 軟件*適用于組件和分立（封裝）半導(dǎo)體器件的參數(shù)測(cè)試。該軟件運(yùn)用以下特點(diǎn)，*大限度地提高了技術(shù)人員與工程師在研發(fā)方面的生產(chǎn)力：

• 專為封裝器件（MOSFET、BJT、IGBT、二極管、電阻器等）設(shè)計(jì)
• 豐富的測(cè)試庫(kù)，無需編程即可快速輕松地完成測(cè)試設(shè)置和執(zhí)行
• 內(nèi)置數(shù)據(jù)分析工具，可快速分析參數(shù)數(shù)據(jù)
• 支持 Keithley 2600B 系列、2400 系列、2651A 系列和 2657A 系列系統(tǒng) SourceMeter SMU 儀器

集成階段

集成階段使用 ACS Standard Edition 軟件進(jìn)行半自動(dòng)晶圓測(cè)試，包括穩(wěn)定的過程開發(fā)和晶圓級(jí)可靠性 (WLR)。該軟件可用于 SMU-per-pin 系統(tǒng)級(jí)測(cè)試。ACS WLR 軟件提供以下好處：

• 全自動(dòng)功能，可測(cè)試單個(gè)晶圓或整個(gè)暗盒
• 可實(shí)現(xiàn)靈活的測(cè)試設(shè)置和并行測(cè)試的軟件
• 可靠性測(cè)試模塊 (RTM) 符合 JEDEC 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法
• 支持創(chuàng)建定制的測(cè)試模塊/程序

生產(chǎn)階段

ACS 標(biāo)準(zhǔn)版軟件還適用于完全集成的機(jī)架式自動(dòng)定制測(cè)試系統(tǒng)，用于過程控制監(jiān)控 (PCM)、晶圓驗(yàn)收測(cè)試 (WAT) 和晶粒挑揀。ACS Standard 軟件中內(nèi)置的許多工具和功能可增強(qiáng) 設(shè)備的自動(dòng)檢定能力：

• 晶圓和暗盒級(jí)自動(dòng)化
• 將設(shè)備和測(cè)試映射到站點(diǎn)和子站點(diǎn)的測(cè)試圖
• 交互式探針臺(tái)控制模式
• 單個(gè)或每個(gè)晶圓的吉時(shí)利數(shù)據(jù)文件 (KDF) 和/或 CSV 文件

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